金融界2025年5月3日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“晶圆承载装置及其温度控制方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN119900012A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本申请公开了一种晶圆承载装置及其温度控制方法及半导体工艺设备。其中，该晶圆承载装置包括：加热组件，所述加热组件包括加热器本体，加热器本体包括内加热区和外加热区，外加热区位于内加热区径向方向上的外部，内加热区内设置有内区加热部件和内区温度测量部件，外加热区内设置有外区加热部件和外区温度测量部件；水冷盘，水冷盘的边缘设置有环形凸起结构，水冷盘通过环形凸起结构与加热器本体密封连接，环形凸起结构的宽度和高度根据晶圆承载装置所需工况温度设置，环形凸起结构内为内冷却区，环形凸起结构为外冷却区，内冷却区与加热器本体之间有一空隙。本申请在高温工况、低温工况均具备较强的冷却能力，能同时兼顾高低温工况。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1028次，财产线索方面有商标信息61条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

本文源自：金融界

作者：情报员